GasPro^TM  TEM-1700全316L超高純度在線(xiàn)過(guò)濾器

GasPro^TM TEM-1700系列過(guò)濾器專(zhuān)為在高達(dá)200標(biāo)準(zhǔn)升每分鐘(slpm) 和200oC (392oF)的條件下，過(guò)濾3nm顆粒而設(shè)計(jì)。

其全316L不銹鋼焊接結(jié)構(gòu)提供了出色的烘烤特性，實(shí)現(xiàn)快速干燥和在線(xiàn)驗(yàn)證。

GasPro^TM TEM-1700系列產(chǎn)品采用標(biāo)準(zhǔn)的半導(dǎo)體行業(yè)接口，便于安裝。

規(guī) 格

•  過(guò)濾精度

有效過(guò)濾3nm顆粒

• 最高工作溫度

在惰性氣體環(huán)境中可高達(dá)200°C (392°F)

• 最高工作壓力

1700, 1740和1770 系列：在20°C (68°F)時(shí)可承受206.8 bar (3,000 psig)。

典型應(yīng)用

• 氣體柜和特種氣體管道的過(guò)濾。

• 氣體面板的點(diǎn)對(duì)點(diǎn)工藝氣體過(guò)濾。

特點(diǎn)和優(yōu)勢(shì)

• 結(jié)構(gòu)

采用全316L不銹鋼燒結(jié)纖維介質(zhì)和硬件，確保耐用性和高純度。

• 電拋光外殼

過(guò)濾器組件具有小于10Ra的電拋光316L不銹鋼外殼，可防止腐蝕和內(nèi)表面顆粒堆積。

• 出廠清潔度

GasPro™ TEM-1700過(guò)濾器在潔凈室中進(jìn)行清潔和包裝，確保無(wú)有機(jī)物處理，實(shí)現(xiàn)開(kāi)箱即用的無(wú)顆粒、無(wú)化學(xué)污染的清潔度。最終組裝時(shí)使用過(guò)濾后的氮?dú)膺M(jìn)行吹掃，以確保初始清潔度，并可根據(jù)需要進(jìn)行額外的預(yù)處理。

• 100%氦氣泄漏測(cè)試

 所有單元均經(jīng)過(guò)1x10?? atm cc/秒的氦氣泄漏測(cè)試，確保密封性。

注：以上僅列出部分型號(hào)，更多長(zhǎng)度和接口選項(xiàng)，請(qǐng)聯(lián)系北京亙辰科技有限公司。